接触孔掩模

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rontart mask在半导体制造中的一步接触孔制作工序。在该工序中整个管芯表面放置一玻璃绝缘层在稍后十晶片表面淀积一金属化层畴的互连金属导体必须同有源区相接触的位置,将玻璃绝缘层腐蚀成.}e小孔.、接触[1]  孔掩模即为决定这些小孔的制作过程。
参考资料
  • 1.    化学化工大辞典